制造半导体之设备

主权项

一种制造一半导体之设备，该设备包含：批次型的一清洁室，在其中于复数基板上执行一清洁制程；一磊晶室，在其中执行于每一该等基板上形成一磊晶层的一磊晶制程；一缓冲室，包含一基板固定器，该基板固定器包括其上可堆叠该等基板的一堆叠空间，该堆叠空间包括一第一储存空间与一第二储存空间，该第一储存空间内可堆叠已完成该清洁制程的该等基板，该第二储存空间内可堆叠已分别形成有该磊晶层的该等基板；以及一传送室，其侧表面与该清洁室、该缓冲室以及该磊晶室连接，该传送室包含一基板处置器，用于将其上已完成该清洁制程的该等基板传送至该磊晶室内，其中该基板处置器：连续地将其上已完成该清洁制程的该等基板传送至该缓冲室内，将已堆叠于该缓冲室内的该等基板传送至该该磊晶室内，以及连续地将已分别形成有该磊晶层的该等基板传送至该缓冲室内。