具有孔隙之磊晶结构及其成长方法

主权项

一种具孔隙结构之磊晶成长方法，包含：提供一基材；形成一牺牲层于该基材上；图案化该牺牲层，并在该基材上形成复数间隔排列之凸起物，并且裸露出该些凸起物间之基材表面；在该裸露出之基材上磊晶成长一第一磊晶层，使该第一磊晶层覆盖该些凸起物之一部分，并露出每一该凸起物之顶面；蚀刻移除该些凸起物，形成复数露出该基材表面之孔隙；以及在该第一磊晶层上磊晶成长一第二磊晶层，使该些孔隙被该第一磊晶层及该第二磊晶层包覆。