照明光学装置、投影曝光装置、曝光方法以及元件制造方法

主权项

一种照明光学装置，藉由照明光将具有图案的物体照明，该照明光学装置的特征在于包括：多个复折射构件，其以复折射材料形成，并沿着该照明光学装置的光轴而配置于该照明光的光路上，而变换该照明光的偏光状态；光学积分器，配置于来自该多个复折射构件的该照明光的光路上；以及分布可变构件，配置于该多个复折射构件与该光学积分器之间的该照明光的光路上，以使在该照明光学装置的瞳面中以离开该光轴的第1领域的光量较包含该瞳面内的该光轴的第2领域内的光量大的方式分布的该照明光的光量分布变化，该多个复折射构件以在规定的一方向作为偏光方向的直线偏光状态中入射至该多个复折射构件的该照明光通过该光学积分器将该瞳面内的该第1领域中绕着该光轴的圆周方向作为偏光方向的方式，变换该照明光的偏光状态。