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发明名称 盐及含有该盐之光阻组成物
摘要
申请公布号 TWI473783 申请公布日期 2015.02.21
申请号 TW099116603 申请日期 2010.05.25
申请人 住友化学股份有限公司 发明人 市川幸司;杉原昌子;增山达郎
分类号 C07C381/12;C07C309/17;C07D307/93;G03F7/004;H01L21/027 主分类号 C07C381/12
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项 一种式(I-BB)表示之盐：
地址 日本
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