| 主权项 |
一种静电夹头，埋设有电极之陶瓷制静电夹头，具有：介电体层，表面可载置晶圆，含有Sm之氮化铝烧结体所构成，在室温之体积抵抗率为4x109~4x1010Ω cm；及支持体层，连接于该介电体层之里层，且由包含Sm与Ce之氮化铝烧结体所构成，在室温之体积抵抗率为1x1013Ω cm以上，其中前述介电体层是包含Al-Sm-O化合物，以Sm2O3换算含有1.2~4wt%的Sm，Al以及Sm分别以Al2O3以及Sm2O3换算之Al2O3/Sm2O3重量比为0.8~1.5之氮化铝烧结体，前述支持体层是含有Sm以及Ce的氧化物，以Sm2O3换算为0.96~2.2wt%之Sm，Ce是以CeO2换算为0.2~0.5wt%氮化铝烧结体。 |
