投影透镜配置

主权项

一种运用复数个小束以曝光一目标的带电粒子多小束系统，该种系统包含：至少一个用于产生一带电粒子束的带电粒子源；一用于界定将该产生的束分离成小束的隙孔阵列，以产生来自该产生的束的小束群；一用于将该等小束群之各者会聚朝向一单一会聚点的小束操纵器，该等小束群之各者是指引朝向一不同的会聚点；一于该等小束群中用于可控制遮没小束的小束遮没器；及一用于将该等小束群之未遮没的小束投射至该目标之表面的投影透镜系统阵列；其中，该小束操纵器适以将该等小束群之各者朝向对应于在该投影透镜系统阵列之内的不同的该等投影透镜系统的一点会聚。