发明名称 | 蒸镀设备 | ||
摘要 | |||
申请公布号 | TWI473894 | 申请公布日期 | 2015.02.21 |
申请号 | TW102132832 | 申请日期 | 2013.09.11 |
申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 王玉清;吴欣桓;张庆明 |
分类号 | C23C14/24 | 主分类号 | C23C14/24 |
代理机构 | 代理人 | 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 | |
主权项 | 一种蒸镀设备,包含:一蒸镀材供应装置;一蒸镀材输入管,连通该蒸镀材供应装置;一承载台,具有一承载面,该承载面系用以承载一待蒸镀基板;一机台,设置于该承载台下方,该机台与该承载台相对设置,该机台包含:至少一喷气管,具有一前端口、复数喷嘴以及一末端部,该前端口系连通该蒸镀材输入管,该末端部系位于该喷气管相对于该前端口之另一端,该些喷嘴系沿着该前端口至该末端部设置,其中该前端口与该承载面之间具有一第一距离,该末端部与该承载面之间具有一第二距离;以及一旋转机构,用以旋转该机台至一操作状态,其中当该喷气管在该操作状态下,该第一距离系大于该第二距离。 | ||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路1号 |