用以处理基板之装置、系统及方法

主权项

一种基板处理装置，其包含：一装载埠，其上安装收纳一基板之一容器；复数个处理模组，其处理该基板；一传送模组，其安置于该装载埠与该等处理模组之间，且于该容器与该等处理模组之间传送该基板；及一缓冲腔室，其安置于该等处理模组中之相邻处理模组之间，且提供用以在该等相邻处理模组之间载运该基板之一空间，其中，该缓冲腔室包含：一外壳，其系垂直堆叠之外壳；一支撑部件，其安置于该外壳中，且支撑该基板；一电浆供应器，其将电浆供应至该外壳；及一旋转部件，其旋转置放于该支撑部件上之该基板。