发明名称 温度控制模式之建构方法
摘要
申请公布号 TWI474140 申请公布日期 2015.02.21
申请号 TW100136514 申请日期 2011.10.07
申请人 鸿劲科技股份有限公司 发明人 张演原
分类号 G05B19/04;H01L23/34 主分类号 G05B19/04
代理机构 代理人
主权项 一种温度控制模式之建构方法,系针对批次化之作业件于作业环境中所产生热变化而建构的温度控制模式,其主要包括有:设定程序:系于处理器设定预设作业温度;第一阶段感测程序:系感测作业温度变化并传输至处理器,如系感测作业件之表面温度时,系可以即时传输的方式将感测的温度数据传输至处理器,如系以作业件本身内建之感温器感测内部温度时,亦可以即时传输的方式将感测的温度数据传输至处理器,如系以作业件本身内建之感温器以设定时间点的方式感测内部温度时,则可于完成所有设定时间点的感测后,再将所有感测的温度数据一次传输至处理器,如系同时感测作业件之表面温度及内部温度时,则可将感测到的表面温度及内部温度数据传输至处理器进行比对,以降低温度数据的误差;第一阶段输出程序:系由处理器依据第一阶段感测程序传输之温度变化,而控制输出器之输出能量;架构程序:系依据第一阶段输出程序后传输之温度变化,而建立初始作业的时间-温度变化关系;调控程序:系依据架构程序,找出一时间点位置设为输出器开始变换输出能量的起始点;第二阶段感测程序:系感测作业之温度变化并传输至处理器;第二阶段输出程序:系依据调控程序,由一时间点位置开始变换输出能量,处理器并依据第二阶段感测程序感测传输之温度变化,调控输出器对作业的输出能量。
地址 台中市大雅区中清路3段758巷7号