用于微显影蚀刻术之照明光学机构

主权项

一种用于微显影蚀刻术的照明光学机构，包含：一光学总成用以将照明光导引至一物体平面中之一要被照明的物体场；其中该照明光学机构会将一照明光辐射束分成多数的辐射次束，它们系被指配于该物体场照明的不同照明角度；其中该照明光学机构系构制成会使至少某些该等辐射次束被重叠于一叠合平面中，其系相隔于该物体平面，且其不会显像于该发生叠合的物体平面中，而会使该等重叠的辐射次束之外部边缘部分全部地重合。