| 主权项 |
一种基板处理系统，包含：装载埠模组，被建构成固持至少一基板容器以贮存及运送基板；基板处理腔室，可隔离转运腔室，被建构成耦合该基板处理腔室与该装载埠模组；及基板运送装置，至少局部装设于该转运腔室内，且具有驱动部，固定于该转运腔室并具有选择性顺应总成机器臂(SCARA arm)，其中该SCARA臂具有串列枢接臂连杆，且被建构成通过该转运腔室沿着直线路径以连续线性运动在双向上延伸以在该至少一基板容器与该处理腔室之间直接转运该至少一基板，而仅碰触该至少一基板一次，其中该SCARA臂包括第一臂连杆、第二臂连杆及至少一末端作用器，彼此串列枢接。 |
