| 主权项 |
一种被膜形成用涂布液，其系含有：(A)成分，即在侧链具有经氟原子所取代的有机基之聚矽氧烷；及(B)成分，即在磷原子键结有羟基的磷酸酯化合物之被膜形成用涂布液，其特征为(A)成分系将含有式(1)所表示的烷氧基矽烷及式(2)所表示的烷氧基矽烷之烷氧基矽烷，进行聚缩合而得之聚矽氧烷，(B)成分为式(4)所表示的磷酸酯化合物，[化1]Si(OR1)4(1)(R1表示具有1至5个碳原子的烃基)，[化2]R2Si(OR3)3(2)(R2表示式(5)所示的有机基，R3表示具有1至5个碳原子的烃基)[化3]CF3(CF2)kCH2CH2(5)(k表示0至12的整数)OP(OH)m(OR6)3-m(4)(R6表示碳数1至20的有机基，m表示1或2的整数)。 |
