影像感测装置及其形成方法

主权项

一种影像感测装置，包含：一半导体基板，具有一正面与一背面；一复晶矽层在该半导体基板的该背面上，其中该复晶矽层具有一部分，在该部分掺杂有p型不纯物；以及一介电层在该半导体基板的该背面上，其中该复晶矽层是位于该半导体基板与该介电层之间；其中该复晶矽层包含：一底部层；一中间层；以及一上部层；其中：该中间层是位于该底部层与该上部层之间；该中间层具有上述p型不纯物的一第一浓度；以及在该底部层与该上部层内的上述p型不纯物的第二浓度实质上为零。