发明名称 晶舟转换器
摘要
申请公布号 TWI474427 申请公布日期 2015.02.21
申请号 TW099146994 申请日期 2010.12.30
申请人 南茂科技股份有限公司 发明人 田金德;章铭祥;张竣雄
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人 陈培道 新竹县竹东镇中兴路4段195号53馆219室
主权项 一种晶舟转换器,包含有一底座(10),具有一承载板(11)、一第一定位导轨(12)、一第二定位导轨(13)、一第一导引装置(14)与一第二导引装置(15),该承载板(11)上进一步形成有沿一第一方向(X)分布的一第一定位区(17)与一第二定位区(18),该第一定位导轨(12)沿该第一方向(X)设置于该第一定位区(17),该第一导引装置(14)设置于该第一定位区(17)的两侧,该第二定位导轨(13)沿该第一方向(X)设置于该第二定位区(18),该第二导引装置(15)设置于该第二定位区(18)的两侧;以及一晶圆推杆(19),活动地设置于该底座(10),并可沿该第一方向(X)自该第一定位区(17)移动至该第二定位区(18);其特征在于:该第一定位区(17)与该第二定位区(18)之间形成有一预设的间隔部(20);一第一阻挡装置(21),设置于该承载板(11)上,且位于该第二定位区(18)远离该间隔部(20)之一端的外缘,该第一阻挡装置的高度(D1)大于该间隔部的宽度(D2),且该第一阻挡装置(21)形成有一阻挡面(22),该阻挡面(22)朝向该间隔部(20);以及该第二定位区(18)进一步包含一第二阻挡装置(23),该第二阻挡装置(23)凸设于该承载板(11)上,且该第二阻挡装置(23)的高度大于该第二定位导轨(13)的高度。
地址 新竹市科学工业园区研发一路1号