发明名称 Reduzieren von Fehlern einer Drehvorrichtung, insbesondere für die Bestimmung von Koordinaten eines Werkstücks oder die Bearbeitung eines Werkstücks
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reduzieren von Fehlern einer Drehvorrichtung (11, 12), welche einen ersten Teil (12) und einen relativ zu dem ersten Teil (12) um eine Drehachse (A1) der Drehvorrichtung (11, 12) drehbaren, zweiten Teil (11) sowie eine Drehpositions-Messvorrichtung (74, 75) zur Messung von Drehpositionen des ersten Teils (12) und des zweiten Teils (11) relativ zueinander aufweist, wobei die Drehpositions-Messvorrichtung (74, 75) einen Drehpositionssensor (74) und einen für die Messung der Drehposition mit dem Drehpositionssensor (74) zusammenwirkenden Messkörper (75) aufweist, wobei der Drehpositionssensor (74) mit dem ersten Teil (12) und der Messkörper (75) mit dem zweiten Teil (11) verbunden ist oder umgekehrt, und wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: – (21): Fehler der Drehvorrichtung (11, 12) aufgrund von Abweichungen zwischen tatsächlichen Positionen und tatsächlichen Ausrichtungen der Drehachse (A1) einerseits und entsprechenden idealen Positionen und einer idealen Ausrichtung einer idealen Drehachse (A2) der Drehvorrichtung (11, 12) andererseits werden in einem Bereich von Drehwinkeln, d.h. bei verschiedenen Drehstellungen des ersten Teils (12) und des zweiten Teils (11) relativ zueinander, gemessen und entsprechende Fehlermesswerte erhalten, – (23): aus den Fehlermesswerten werden erwartete Schwankungen der radialen Position des ersten Teils (12) oder des zweiten Teils (11) der Drehvorrichtung und/oder Schwankungen der Position des ersten Teils (12) oder des zweiten Teils (11) bezüglich einer Richtung tangential zur Drehrichtung der Drehvorrichtung, die aufgrund einer Abweichung der Drehbewegung der Drehvorrichtung (11, 12) von einer idealen Drehbewegung um die ideale Drehachse (A2) entstehen, für eine Mehrzahl von Drehpositionsmessorten des Drehpositionssensors (74) ermittelt, an denen der Drehpositionssensor (74) die Drehposition der Drehvorrichtung messen kann, – (25): unter Berücksichtigung der erwarteten Schwankungen wird zumindest ein Drehpositionsmessort des Drehpositionssensors (74) ermittelt, für den die erwarteten Schwankungen der Position bezüglich der Richtung tangential zur Drehrichtung • kleiner sind als für andere mögliche Drehpositionsmessorte und/oder • eine vorgegebene Bedingung erfüllen.
申请公布号 DE102013216093(A1) 申请公布日期 2015.02.19
申请号 DE201310216093 申请日期 2013.08.14
申请人 CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH 发明人 SAGEMÜLLER, RAINER;SEITZ, DOMINIK
分类号 G12B5/00;G01B5/00;G01B5/008;G01B5/24;G01B21/04;G01B21/22;G01D5/14;G01D11/02 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
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