| 摘要 |
共面型差圧センサモジュール（１００）が提供される。モジュール（１００）は、一組の凹部（２１７、２１９）を有したベース（１０９）を備える。一組の台座（２１８、２２０）が同様に提供され、それぞれの台座（２１８、２２０）が、それぞれの凹部（２１７、２１９）に配設され、それぞれの隔離ダイヤフラム（２２２）に結合される。差圧センサ（２０８）は、検知ダイヤフラム及び一組の圧力検知ポート（２１０、２１２）を有する。差圧センサ（２０８）のそれぞれのポート（２１０、２１２）は、充填流体によってそれぞれの隔離ダイヤフラム（２２２）に流体的に結合される。モジュール（１００）はまた、差圧によって変化するセンサ（２０８）の電気的特性を測定するために、差圧センサ（２０９）に接続された回路（２１６）を備える。ベース（１０９）は、海水への浸漬に適切な材料から構成される。共面型差圧センサモジュール（１００）を構成する方法（３００）も提供される。別の実施形態では、圧力センサモジュールが提供される。圧力センサモジュール（１００）は、凹部を有したベースを備える。台座が、凹部に配設され、隔離ダイヤフラムに結合される。検知ダイヤフラム及び圧力検知ポートを有した圧力センサは、充填流体によって隔離ダイヤフラムに流体的に結合される。回路が、圧力によって変化するセンサの電気的特性を測定するために、圧力センサに接続される。ベースは、海水への浸漬に適切な材料から構成される。 |
