发明名称 Außenumfangspoliervorrichtung für scheibenförmige Werkstücke
摘要 <p>Eine Außenumfangspoliervorrichtung, die in der Lage ist, die Kante von Werkstücken mit unterschiedlichen Fasenwinkeln zu polieren, soll vorgeschlagen werden. Kantenpoliereinheiten 2A, 2B zum Polieren der Vorderflächenkante Ea und der Hinterflächenkante Eb des Werkstücks W umfassen jeweils eine Polierelementbefestigungsstruktur 11, an welcher ein Polierelement 10 angebracht ist, eine Befestigungsstrukturtrageinheit 12, welche die Polierelementbefestigungsstruktur 11 schwenkbar trägt, einen Befestigungsstrukturwinkeleinstellmechanismus 18, welcher einen Schwenkwinkel der Polierelementtragstruktur 11 einstellt, eine Hin- und Herbewegungstragbasis 15, welche die Befestigungsstrukturtrageinheit 12 so trägt, dass sie sich entlang einer Hin- und Herbewegungsachse bewegt, eine Basistrageinheit 15, welche die Hin- und Herbewegungstragbasis 15 schwenkbar trägt, einen Basiswinkeleinstellmechanismus 18, welcher den Schwenkwinkel der Hin- und Herbewegungstragbasis 15 so einstellt, dass er parallel zu der Kante Eb des Werkstücks W ist, und ein Grundgestell 19, welches die Basistrageinheit 17 so trägt, dass eine Positionskorrektur in einer vertikalen Richtung und einer horizontalen Richtung möglich ist.</p>
申请公布号 DE112013002353(T5) 申请公布日期 2015.02.19
申请号 DE20131102353T 申请日期 2013.02.14
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.;SPEEDFAM CO., LTD. 发明人 KATO, TADAHIRO;ENARI, AKITOSHI;IRAGO, MITSUTAKA
分类号 B24B9/00;H01L21/304 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
主权项
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