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<p>Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Substrathaltevorrichtung (100) Folgendes aufweisen: ein erstes Halteelement (102), das aufweist: eine Auflagefläche (102a) zum Auflegen mindestens eines Randbereichs eines Substrats; eine Öffnung (102m) in einem inneren Bereich des ersten Halteelements (102); wobei die Auflagefläche (102a) die Öffnung (102m) begrenzt; ein zweites Halteelement (106), welches mit dem ersten Halteelement (102) lösbar verbindbar ist derart, dass ein auf die Auflagefläche (102a) aufgelegtes Substrat zwischen dem ersten Halteelement (102) und dem zweiten Halteelement (106) aufgenommen ist; mindestens ein Niederhalteelement (108), das zwischen dem ersten Halteelement (102) und dem zweiten Halteelement (106) derart relativ zu der Auflagefläche (102a) angeordnet ist, dass eine auf das Niederhalteelement (108) ausgeübte Niederhaltekraft im Wesentlichen auf den Randbereich eines auf die Auflagefläche (102a) aufgelegten Substrats wirkt, der auf der Auflagefläche (102a) aufgelegt ist.</p> |
