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Eine Mehrschicht-Wirbelstromsonde (110) hat eine Vielzahl von spiralförmigen Flachspulen (S1–S4), die in unterschiedlichen Spulenschichten (114) einer Mehrschichtanordnung (112) angeordnet sind, wobei zwischen benachbarten Spulenschichten der Mehrschichtanordnung jeweils eine Isolierschicht (116) aus elektrisch isolierendem Material angeordnet ist. Jede der Flachspulen weist ein inneres Anschlussende (I1–I4) und ein äußeres Anschlussende (A1–A4) auf. Ausgewählte Anschlussenden von ausgewählten Flachspulen unterschiedlicher Spulenschichten sind mittels Durchkontaktierungen elektrisch miteinander verbunden. Die Flachspulen bilden mindestens eine Spulengruppe (200), die mindestens drei Flachspulen (S1–S4) aufweist, die in unterschiedlichen Schichten übereinander angeordnet sind, wobei die inneren Anschlussenden (I1–I4) der mindestens drei Flachspulen der Spulengruppe über eine gemeinsame innere Durchkontaktierung (VI) elektrisch leitend verbunden sind. |
