| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten und/oder Beobachten eines Objekts (16) mittels mindestens eines Teilchenstrahls, bei dem der Teilchenstrahl über das Objekt (16) gerastert wird. Das Verfahren umfasst ein Bestimmen eines Rasterbereichs (RB1) auf dem Objekt (16), wobei der Rasterbereich (RB1) eine Vielzahl von Rasterzeilen (RZ1 bis RZ4) aufweist, ein Bewegen des Teilchenstrahls in eine erste Rasterrichtung (A) entlang einer der Vielzahl von Rasterzeilen (RZ1 bis RZ4), sowie ein Ändern der ersten Rasterrichtung (A) in eine zweite Rasterrichtung (A') zu einem Richtungsänderungszeitpunkt, wobei das Ändern der ersten Rasterrichtung (A) in die zweite Rasterrichtung (A') ein Festlegen eines Rotationspunkts (P1) in derjenigen Rasterzeile (RZ4) des Rasterbereichs (RB1) umfasst, in welcher der Teilchenstrahl sich zum Richtungsänderungszeitpunkt befindet, wobei durch den Rotationspunkt (P1) eine Rotationsachse (A1) verläuft, und wobei die erste Rasterrichtung (A) in die zweite Rasterrichtung (A') durch Drehen des Rasterbereichs (RB1) um die Rotationsachse (A1) geändert wird, wobei der Rotationspunkt (P1) in Abhängigkeit der Drehrichtung gewählt wird.</p> |
