レーザ維持プラズマ光源におけるＶＵＶフィルタリングを提供するためのプラズマセル

摘要

レーザ維持プラズマ光源に用いられるプラズマセルは、プラズマを発生させるのに適したガスを収容するように構成され、且つプラズマバルブ内のプラズマを維持するように構成されたポンプレーザから生じる光を実質的に通し、且つプラズマによる発光の収集可能なスペクトル領域の少なくとも一部を実質的に通す、プラズマバルブと、プラズマバルブの内面上に配置され、プラズマによる発光の選択されたスペクトル領域を遮断するように構成される、フィルタ層と、を含む。