HIGH-RESOLUTION SCANNING MICROSCOPY

摘要

Mikroskop und Verfahren zur hochauflösenden Scanning-Mikroskopie einer Probe (2), bei dem - die Probe (2) beleuchtet wird, - mindestens ein scannend über die Probe (2) geführter Punkt- oder Linien-Spot (14) in ein Einzelbild (17) abgebildet wird, wobei der Spot (14) unter einem Abbildungsmaßstab beugungsbegrenzt in das Einzelbild (17) abgebildet wird und das Einzelbild (17) ruhend in einer Detektionsebene (18) liegt, - für verschiedene Scanpositionen das Einzelbild (17) mit einer Ortauflösung erfaßt wird, welche unter Berücksichtigung des Abbildungsmaßstabes mindestens doppelt so groß ist wie eine Halbwertsbreite des beugungsbegrenzten Einzelbildes (17), so daß eine Beugungsstruktur des Einzelbildes (17) erfaßt wird, - für jede Scanposition die Beugungsstruktur des Einzelbildes (17) ausgewertet wird und ein Bild der Probe (2) erzeugt wird, das eine Auflösung aufweist, die über die Beugungsgrenze gesteigert ist, wobei - ein Detektorarray (24) bereitgestellt wird, das Pixel (25) aufweist und größer ist als das Einzelbild (17), und - Strahlung des Einzelbildes aus der Detektionsebene (18) nicht-abbildend auf die Pixel (25) des Detektorarrays (24) umverteilt wird, - wobei mindestens zwei Umverteilungselemente vorgesehen sind die parallel mit Detektionsiicht beaufschlagt sind und wobei sich das Detektionslicht zumindest teilweise bezüglich seiner spektralen Zusammensetzung unterscheidet und Strahlung aus den mindestens zwei Umverteilungselementen auf die Pixel eines Detektorarrays gelangt.