| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine elektrische Prüfeinrichtung für eine elektrische Berührungskontaktierung eines elektrischen Prüflings, insbesondere Wafers, mit einem Kontaktkopf, der eine Vielzahl von stiftförmigen Prüfkontakten aufweist, die bei einem Prüfvorgang entlang ihrer Längserstreckung auf Druck beansprucht werden, wodurch sie quer zu ihrer Längserstreckung ausknicken oder–bei bereits vorhandener Biegung oder Durchbiegung–stärker ausknicken. Es ist vorgesehen, dass zumindest einer der Prüfkontakte (3) zur an mindestens einer Stelle entlang seiner Längserstreckung (16) erfolgenden Verminderung seiner Knickbeanspruchung über seine Längserstreckung (16) unterschiedlich große Querschnittsabmessungen (Q1–Q7) aufweist. Ferner betrifft die Erfindung einen entsprechenden Prüfkontakt einer elektrischen Prüfeinrichtung sowie ein Verfahren zur Querschnittsdimensionierung eines Prüfkontakts einer elektrischen Prüfeinrichtung. Ferner betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für einen Prüfkontakt für eine elektrische Prüfeinrichtung.</p> |
