| 发明名称 | 一种靶材组件 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种靶材组件，包括靶材、背板及导磁片，所述靶材与所述背板层叠设置，所述导磁片嵌于所述背板中，所述导磁片设有导磁片顶面，所述背板设有背板顶面，所述导磁片顶面与所述背板顶面平齐，且所述导磁片顶面贴紧所述靶材。本实用新型的靶材组件通过设置导磁片，使得磁控溅射过程中的磁场分布均匀，靶材的蚀刻速率一致，从而延长矩形平面靶材使用寿命，降低生产成本，提高靶材的使用效率。 | ||
| 申请公布号 | CN204162776U | 申请公布日期 | 2015.02.18 |
| 申请号 | CN201420387169.2 | 申请日期 | 2014.07.14 |
| 申请人 | 南昌欧菲光科技有限公司;深圳欧菲光科技股份有限公司;苏州欧菲光科技有限公司 | 发明人 | 李晨光 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 郝传鑫;熊永强 |
| 主权项 | 一种靶材组件，其特征在于：包括靶材、背板及导磁片，所述靶材与所述背板层叠设置，所述导磁片嵌于所述背板中，所述导磁片设有导磁片顶面，所述背板设有背板顶面，所述导磁片顶面与所述背板顶面平齐，且所述导磁片顶面贴紧所述靶材。 | ||
| 地址 | 330013 江西省南昌市昌北经济开发区黄家湖西路欧菲光科技园 | ||