| 发明名称 | 用以接合衬底的装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用以使用以下步骤、尤其按以下顺序在该衬底(3、8)的接触表面(3k、8k)上将第一衬底(3)接合至第二衬底(8)的方法：- 在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上安置该第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳该第二衬底(8)，- 在接合起始位点(20)上接触该接触表面(3k、8k)，- 沿着自该接合起始位点(20)行进至该衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将该第一衬底(3)接合至该第二衬底(8)，其特征在于：该第一衬底(3)和/或该第二衬底(8)经变形以在该接合之前和/或在该接合期间使该接触表面(3k、8k)在该接合起始位点(20)外对准。此外，本发明涉及一种对应装置。 | ||
| 申请公布号 | CN104364882A | 申请公布日期 | 2015.02.18 |
| 申请号 | CN201380031975.4 | 申请日期 | 2013.05.29 |
| 申请人 | EV 集团 E·索尔纳有限责任公司 | 发明人 | T.瓦根莱特纳;M.温普林格;P.林德纳;T.普拉赫;F.库尔茨 |
| 分类号 | H01L21/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 徐予红;刘春元 |
| 主权项 | 一种用以将第一衬底(3)和第二衬底(8)在衬底(3、8)的接触表面(3k、8k)上接合的方法，其具有以下步骤、尤其具有以下流程：‑第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上接纳所述第一衬底(3)且第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳所述第二衬底(8)，‑在接合起始位点(20)上接触所述接触表面(3k、8k)，‑沿着自所述接合起始位点(20)行进至所述衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将所述第一衬底(3)与所述第二衬底(8)接合，其特征在于：所述第一衬底(3)和/或所述第二衬底(8)经变形以在所述接合之前和/或在接合期间使所述接触表面(3k、8k)在所述接合起始位点(20)外对准。 | ||
| 地址 | 奥地利圣弗洛里安 | ||