摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position zweier Objekte, die in mindestens einer Messrichtung zueinander beweglich angeordnet sind. Die Positionsmesseinrichtung umfasst eine Lichtquelle sowie Aufspaltmittel, über die eine Aufspaltung eines von der Lichtquelle gelieferten Lichtstrahls in zwei oder mehr Teilstrahlenbündel erfolgt. Die Teilstrahlenbündel durchlaufen mindestens zwei Teilstrahlengänge. Auf mehreren optoelektronischen Detektorelementen treffen interferierende Teilstrahlenbündel aus den Teilstrahlengängen auf, so dass über die Detektorelemente verschiebungsabhängige Positionssignale erfassbar sind. Die Lichtquelle ist als Halbleiterlaser mit Fasergitter-Rückkopplungsmitteln ausgebildet (Figur 3).
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