发明名称 Position measuring device
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position zweier Objekte, die in mindestens einer Messrichtung zueinander beweglich angeordnet sind. Die Positionsmesseinrichtung umfasst eine Lichtquelle sowie Aufspaltmittel, über die eine Aufspaltung eines von der Lichtquelle gelieferten Lichtstrahls in zwei oder mehr Teilstrahlenbündel erfolgt. Die Teilstrahlenbündel durchlaufen mindestens zwei Teilstrahlengänge. Auf mehreren optoelektronischen Detektorelementen treffen interferierende Teilstrahlenbündel aus den Teilstrahlengängen auf, so dass über die Detektorelemente verschiebungsabhängige Positionssignale erfassbar sind. Die Lichtquelle ist als Halbleiterlaser mit Fasergitter-Rückkopplungsmitteln ausgebildet (Figur 3). </p>
申请公布号 EP2333493(A3) 申请公布日期 2015.02.18
申请号 EP20100193264 申请日期 2010.12.01
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 MEISSNER, MARKUS
分类号 G01D5/347;G01D5/38 主分类号 G01D5/347
代理机构 代理人
主权项
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