发明名称 |
具有互锁特征结构的两件式扣环 |
摘要 |
一种扣环,包括环形下部和环形上部。环形下部具有主体、内缘、外缘和多个方位上分离的互锁特征结构,所述主体具有用于在抛光期间接触抛光垫的底表面,所述内缘从主体向上伸出,所述外缘从主体向上伸出并与内缘通过间隙分隔开,所述互锁特征结构定位于内缘与外缘之间,每一互锁特征结构都从主体向上伸出。环形上部具有顶表面和底表面及在底表面中的多个方位上分离的凹槽,这些凹槽界定上部的薄部,多个互锁特征结构装配至多个凹槽中。下部为塑料,且上部为比塑料更具刚性的材料。 |
申请公布号 |
CN104364885A |
申请公布日期 |
2015.02.18 |
申请号 |
CN201380029632.4 |
申请日期 |
2013.05.21 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
伊尔法努拉·胡德达斯·拉赫马图拉;波柏纳·伊谢提拉;帕德玛·戈帕拉克里氏南;拉维·阿斯瓦斯那拉雅那艾哈;亚伯拉罕·帕拉季;杨·J·派克;斯泰西·迈耶;詹姆斯·科林勒尔;阿施施·布特那格尔 |
分类号 |
H01L21/304(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/304(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
徐金国;赵静 |
主权项 |
一种扣环,所述扣环包括:环形下部,所述环形下部具有主体、内缘、外缘和多个方位上分离的互锁特征结构,所述主体具有用于在抛光期间接触抛光垫的底表面,所述内缘从所述主体向上伸出,所述外缘从所述主体向上伸出并与所述内缘通过间隙分隔开,所述互锁特征结构定位于所述内缘与所述外缘之间,每一互锁特征结构都从所述主体向上伸出,其中所述下部为塑料;和环形上部,所述环形上部具有顶表面和底表面及在所述底表面中的多个方位上分离的凹槽,所述凹槽界定所述上部的薄部,所述多个互锁特征结构装配至所述多个凹槽中,且其中所述上部为比塑料更具刚性的材料。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |