带电粒子束产生装置、带电粒子束装置、高电压产生装置以及高电位装置

摘要

本发明的带电粒子束产生装置具备：带电粒子源；沿着来自带电粒子源的带电粒子的照射方向配置的多个第一电极；配置在第一电极之间的多个绝缘部件；以及设置在多个第一电极周围的壳体。壳体由绝缘性的固体材料形成，壳体具备配置在接近多个第一电极的位置上的多个第二电极。多个第二电极中的至少一个第二电极与多个第一电极中的至少一个第一电极电连接，多个第二电极中的各个第二电极成为与接近的第一电极的电位相同的电位。

主权项

一种带电粒子束产生装置，其特征在于，具备：带电粒子源；沿着来自所述带电粒子源的带电粒子的照射方向配置的多个第一电极；配置在所述第一电极之间的多个绝缘部件；以及设置在所述多个第一电极周围的壳体，所述壳体由绝缘性的固体材料形成，所述壳体具备配置在接近所述多个第一电极的位置上的多个第二电极，所述多个第二电极中的至少一个第二电极与所述多个第一电极中的至少一个第一电极电连接，所述多个第二电极中的各个第二电极成为与接近的所述第一电极的电位相同的电位。