用于工艺腔体阴极的安装装置

摘要

本实用新型提供了一种用于工艺腔体阴极的安装装置，包括：夹持机构及支架体，所述支架体上设置有第一导轨；所述夹持机构包括：夹持主体；校准装置，所述校准装置与所述夹持主体可拆卸式连接；钳口夹板；第一底板，所述第一底板的下表面设置有与所述第一导轨相匹配的所述第一导轨槽。将工艺腔体阴极固定在所述钳口夹板与所述夹持主体之间；根据校准装置调整所述夹持主体的位置，将所述工艺腔体阴极插入工艺腔体的安装孔内，并完成安装作业。采用所述工艺腔体阴极的安装装置可以准确的完成所述工艺腔体阴极与所述安装孔的位置的对准，提高了安装的精确性与可靠性，避免了静电吸附盘报废，降低作业风险及成本，提高作业成功率和工作效率。

主权项

一种用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，包括：夹持机构及支架体，所述支架体上设置有一第一导轨；所述夹持机构包括：夹持主体，所述夹持主体包括一立柱、一垂直连接于所述立柱的一端的横板、一垂直连接于所述立柱的另一端的定位板；校准装置，所述校准装置可拆卸式连接于所述定位板；钳口夹板，所述钳口夹板与所述立柱相垂直，并位于所述横板与所述定位板之间，所述钳口夹板的上表面设置有第一丝杠套，与所述第一丝杠套配套的第一丝杠穿过所述横板；第一底板，所述第一底板位于所述夹持主体的下方，并与所述定位板所在平面平行，所述第一底板的上表面设置有第二丝杠套，与所述第二丝杠套配套的第二丝杠与所述立柱连接，所述第一底板的下表面设置有一与所述第一导轨相匹配的第一导轨槽。