| 发明名称 | 用于确定对准误差的装置和方法 | ||
| 摘要 | 一种用于确定存在于衬底(5)上或已施加至该衬底(5)的结构(6)的对准误差的装置，该装置具有以下特征：衬底固持器(2)，其用于容纳具有该结构(6)的衬底(5)，及检测构件，其用于通过在第一坐标系中移动该衬底(5)或该检测构件而检测该衬底(5)上的第一标记(7)和/或结构(6)上的第二标记（11、11')的X-Y位置，其特征在于在独立于该第一坐标系的第二坐标系中给出结构(6)的X'-Y'结构位置，可通过该装置确定X'-Y'结构位置与第一标记(7)和/或第二标记(11、11')的X-Y位置的各自距离。 | ||
| 申请公布号 | CN104364892A | 申请公布日期 | 2015.02.18 |
| 申请号 | CN201280073761.9 | 申请日期 | 2012.06.06 |
| 申请人 | EV 集团 E·索尔纳有限责任公司 | 发明人 | T.瓦根莱特纳 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 徐予红;刘春元 |
| 主权项 | 一种用于确定存在于衬底(5)上或已施加至所述衬底(5)的结构(6)的对准误差的装置，所述装置具有以下特征：‑衬底固持器(2)，其用于容纳具有所述结构(6)的所述衬底(5)，‑检测构件，其用于通过在第一坐标系中移动所述衬底(5)或所述检测构件而检测所述衬底(5)上的第一标记(7)和/或所述结构(6)上的第二标记（11、11')的X‑Y位置，其特征在于在独立于所述第一坐标系的第二坐标系中给出所述结构(6)的X'‑Y'结构位置，可通过所述装置确定所述X'‑Y'结构位置与所述第一标记(7)和/或第二标记（11、11')的所述X‑Y位置的各自距离。 | ||
| 地址 | 奥地利圣弗洛里安 | ||