一种温度控制系统及其控制方法

摘要

本发明公开了一种温度控制系统及其控制方法，该温度控制系统包含：热卡盘、第一温度传感器、温度比较装置及温度控制器。热卡盘设置在外部机台上。第一温度传感器用于获取热卡盘的实时温度。温度比较装置获取热卡盘的实时温度，并与第一温度传感器连接。温度控制器设置在外部机台上；温度控制器分别与第一温度传感器输出端、温度比较装置输出端连接。能够实时监控第一温度传感器的工作状态，并将其是否工作正常的情况信号发送至温度控制器中，第一温度传感器能够实时获取机台的热卡盘工作温度，并将该温度信号发送至温度控制器中，使得温度控制器能够获得准确、可靠的温度信号，能够提高机台的温度控制可靠性，提高了生产效率，降低了生产成本。

主权项

一种温度控制系统，其特征在于，该系统包含：热卡盘（10），设置在外部机台上；第一温度传感器（20），获取所述热卡盘（10）的实时温度；温度比较装置（30），获取所述热卡盘（10）的实时温度，并与所述第一温度传感器（20）连接；温度控制器（40），设置在外部机台上；所述温度控制器（40）分别与所述第一温度传感器（20）输出端、温度比较装置（30）输出端连接；该温度控制器（40）控制外部机台工作状态。