| 主权项 |
一种用于在基于激光的系统中处理多个半导体部件的方法，所述方法包括：对于具有默认制法以及相同设计的所述多个半导体部件中的各者，所述默认制法包括相同的用于所述基于激光的系统的参数群组，以处理所述多个半导体部件，且其中待对至少一个部件执行的工作不同于待对所述多个半导体部件中的至少一个剩余部件执行的工作：A)使用默认制法且在处理所述多个半导体部件中的一部件之前分析待由所述基于激光的系统的激光使用所述默认制法对所述部件执行的工作，以通过执行所述工作的计算机模拟来获得处理所述部件的默认处理结果；B)修改所述默认制法的参数以建立与所述参数相关的部件特定制法，其中所述参数影响待对所述部件执行的所述工作的组织；C)使用所述部件特定制法且在处理所述部件之前分析待由所述激光使用所述部件特定制法对所述部件执行的所述工作以通过执行所述工作的计算机模拟来获得处理所述部件的替代处理结果；及D)基于所述默认处理结果与所述替代处理结果的哪一者最接近所要的处理结果而选择所述默认制法与所述部件特定制法中的一者用于处理所述部件；将用于所述多个半导体部件中的各者的所选制法组合为经变更的制法；及在所述基于激光的系统中使用所述经变更的制法执行待对所述多个半导体部件中的各者执行的所述工作。 |
