同基板光引擎结构

摘要

本发明涉及一种同基板光引擎结构，包括基板，所述基板上集成有LED光源和LED恒流驱动器，所述LED恒流驱动器与LED光源之间电性连接；并且所述LED恒流驱动器用于将输入的直流或交流电转化为稳流电，所述稳流电供给LED光源，并完成电光转化发出照明光。本发明的结构中，将LED恒流驱动器与LED芯片或灯珠集成在基板上，有利于形成标准化的LED光源设计，而且LED恒流驱动器与LED芯片匹配性良好，能够形成稳定的光源输出，且有利于提高光效；此外所述的结构导热性良好,而且具有高的耐电压击穿性能。

主权项

一种同基板光引擎结构，包括基板，所述基板上集成有LED光源和LED恒流驱动器，所述LED恒流驱动器与LED光源之间电性连接；并且所述LED恒流驱动器用于将输入的直流或交流电转化为稳流电，所述稳流电供给LED光源，并完成电光转化发出照明光；其特征在于：所述基板为图案化结构，所述图案化结构包括铝或铝合金基体，在所述铝或铝合金基体上形成有铝过渡层，在所述铝过渡层上形成有AlON功能陶瓷层，并通过掩模对所述功能陶瓷层以及过渡层进行选择性蚀刻形成多个隔离基座；其中所述过渡层采用以下工艺制备：抽真空度至5.0×10^‑4Pa，向真空镀膜室内通入纯度为99.99％的Ar，流量20sccm，并保持真空镀膜室内的工作真空度为50Pa，开启一对带有铝靶溅射阴极的中频溅射电源，电源功率10kW；同时开启偏压电源，偏压电源为高频脉冲偏压电源，电压50V，频率20kHz，占空比为90％，基板沉积温度保持在20℃，沉积时间2分钟，沉积厚度为200nm；所述AlON功能陶瓷层采用以下工艺制备，其反应体系为AlCl₃‑NH₃‑H₂O‑O₂‑H₂，反应温度为350‑420℃，工作压力为1000‑1500Pa，其中AlCl₃的流量为50ml/min，NH₃的流量为15‑35ml/min，H₂O的流量为5‑20ml/min，O₂的流量为5‑10ml/min，H₂的流量为500ml/min，薄膜厚度为200μm。