具有单向金属层的堆叠内有混合的金属叉指取向的金属叉指电容器

摘要

具有多个金属层(106；108；110；112；114；116；120；122；124；126；128；130)的半导体管芯(104；118)，包括具有用于最小特征尺寸的优选方向的一组金属层(112；114；116；126；128；130)。该组金属层使得相邻金属层具有彼此正交的优选方向。在该组金属层内形成的叉指电容器(204’；304’)使得在一个金属层内形成的叉指电容器具有与该金属层的优选方向平行的叉指方向。在双向金属层(106；108；110；120；122；124)内，电容器叉指可以在任一方向上。

主权项

一种半导体管芯(104；118)，包括：在所述半导体管芯内形成的第一单向金属层(112；126；204)，所述第一单向金属层具有第一优选方向(406)；制造在所述第一单向金属层内的第一电容器(204’)，所述第一电容器包括方向平行于所述第一优选方向的交错式叉指(408)；形成在所述半导体管芯内且与所述第一单向金属层相邻的第二单向金属层(114；128；304)，所述第二单向金属层具有与所述第一优选方向正交的第二优选方向(410)；制造在所述第二单向金属层内的第二电容器(304’)，所述第二电容器包括方向平行于所述第二优选方向的交错式叉指(412)。