微机电系统换能器

摘要

一种MEMS设备，包括基底，其具有：至少第一换能器，被优化用于发射压力波；以及至少第二换能器，被优化用于检测压力波。通过改变每一各自换能器的膜和/或电极的直径、厚度或者质量，所述换能器可被优化用于发射或者接收。描述了各种实施方案，并示出了具有发射和接收换能器的不同配置的换能器阵列。还公开了具有发射换能器阵列和接收换能器阵列的实施方案，其中发射和/或接收换能器阵列中的元件被布置具有不同的谐振频率。所述第一和第二换能器中的至少一个可包括一个与换能器的外部隔离的内部空腔。

主权项

一种微机电系统设备即MEMS设备，包括：基底；和多个换能器，被定位在所述基底上，所述多个换能器包括：至少第一换能器，适于发射压力波；和至少第二换能器，适于检测压力波，其中所述第一换能器包括第一膜，以及所述第二换能器包括第二膜，其中所述第一膜具有第一直径，以及所述第二膜具有第二直径，所述第一直径不同于所述第二直径，其中所述第一直径小于所述第二直径。