用于真空处理设备的喷头组件

摘要

真空处理腔具有用于热膨胀和收缩的构造。特殊实施例提供一种具有喷头的等离子处理腔，喷头能够热膨胀和收缩，而不会给腔室壳体施加结构应力而且不会破坏任何真空密封。

主权项

一种真空处理腔，包括：腔室壳体；喷头组件，其被连接至腔室壳体的顶部部分，并且所述喷头组件包括：与腔室壳体刚性结合的背板；穿孔的喷头板；多个紧固组件，将所述喷头板滑动固定于背板，使得喷头板可相对于背板滑动，其中，气体密封被保持于喷头板与背板之间；其中，每个紧固组件包括滚珠轴承组件及穿过所述滚珠轴承组件的螺栓，并且其中，所述滚珠轴承组件包括：其中具有椭圆形孔的插件；其中具有多个非圆形孔的滑动板；多个滚珠，每一个对应于其中一个所述非圆形孔；以及其中具有圆形孔的盖板。