真空阀

摘要

真空阀在可动电极棒上设有波纹管，并通过伴随着可动电极棒的动作使波纹管伸缩来使真空容器内保持气密，但存在当可动电极棒进行断开动作时波纹管会产生压曲这样的问题。本发明的真空阀包括：真空容器，其由绝缘筒(1)和与该绝缘筒的两端部接合的固定侧端板(2)及可动侧端板(3)构成；固定电极(7)及可动电极(8)，其以相对的方式配置于所述真空容器的内部；可动侧电极棒(5)，其一端固接着可动电极(8)，另一端被拉出至真空容器的外部；以及波纹管(6)，其具有伴随着所述可动电极棒(5)的直线移动而伸缩的折皱部，其中，将圆筒形状的波纹管支承件(12)以其内侧与波纹管(6)的折皱部接触的方式固定于真空容器。

主权项

一种真空阀，包括：真空容器，该真空容器是将绝缘筒的端部密封而形成的；固定电极及可动电极，该固定电极及可动电极以相对的方式配置于所述真空容器的内部；可动电极棒，该可动电极棒的一端固接于所述可动电极，另一端被拉出至所述真空容器的外部，所述可动电极棒通过直线移动来使所述可动电极与所述固定电极接触或使所述可动电极远离所述固定电极；以及波纹管，该波纹管配置于所述真空容器内，并具有伴随着所述可动电极棒的直线移动而伸缩的折皱部，其特征在于，包括圆筒形状的波纹管支承件，该波纹管支承件以内侧与所述波纹管的折皱部接触的方式固定于所述真空容器，所述波纹管支承件具有能将所述可动电极与所述固定电极接触、所述波纹管延伸得最长的状态下的所述波纹管的折皱部整体覆盖的轴向长度。