发明名称 多結晶シリコンロッドのクラック発生方法及びクラック発生装置
摘要 A method of generating cracks in a polycrystalline silicon rod, comprising: heating a polycrystalline silicon rod; and subsequently performing local portion cooling of the polycrystalline silicon rod to apply a refrigerant fluid onto a spot-like area of a surface of the polycrystalline silicon rod.
申请公布号 JP5671862(B2) 申请公布日期 2015.02.18
申请号 JP20100168671 申请日期 2010.07.27
申请人 三菱マテリアル株式会社 发明人 林田 周平
分类号 C01B33/02;B02C19/18 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
地址