| 发明名称 | 一种液刀清洗装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种液刀清洗装置，以提高基板的均一性，进而提高产品品质。液刀清洗装置包括：固定于清洗腔室侧壁的防溅罩；液刀，位于防溅罩的下方；斜挡板，位于防溅罩和液刀之间，斜挡板的较高侧与清洗腔室的侧壁固定连接，斜挡板的较低侧与液刀的刀口顶部固定连接。斜挡板可将液刀和传送滚轮上的基板与大部分水汽隔离，滴落在斜挡板上的液滴可沿斜挡板的斜面流下，而不会滴落在液刀尚未冲洗的基板上。相比于现有技术，本方案可大大减少液滴对基板均一性的影响，从而提高了产品品质。 | ||
| 申请公布号 | CN104362118A | 申请公布日期 | 2015.02.18 |
| 申请号 | CN201410682980.8 | 申请日期 | 2014.11.24 |
| 申请人 | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 李登涛;郑载润;王世凯;金童燮;许亚东;梁渲祺;王华东 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人 | 黄志华 |
| 主权项 | 一种液刀清洗装置，其特征在于，包括：防溅罩，固定于清洗腔室的侧壁；液刀，位于防溅罩的下方；斜挡板，位于防溅罩和液刀之间，所述斜挡板的较高侧与清洗腔室的侧壁固定连接，所述斜挡板的较低侧与液刀的刀口顶部固定连接。 | ||
| 地址 | 230011 安徽省合肥市新站区工业园内 | ||