发明名称 |
一种生长氧化锌纳米线阵列的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种生长氧化锌纳米线阵列的制备方法。该方法采用原子层沉积技术在基片上制备氧化锌种子层,再通过化学溶液法以水溶性锌盐作为前驱体,以三乙醇胺,或二乙醇胺作为表面修饰剂,在碱性条件下在基片上形成ZnO纳米线阵列,该方法操作简单,生长的纳米线直径小,适合在气敏传感器、太阳能电池光阳极等领域中应用。 |
申请公布号 |
CN102992389B |
申请公布日期 |
2015.02.18 |
申请号 |
CN201210536195.2 |
申请日期 |
2012.12.13 |
申请人 |
上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 |
发明人 |
葛美英;尹桂林;姜来新;汪元元;何丹农 |
分类号 |
C01G9/02(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I |
主分类号 |
C01G9/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海东方易知识产权事务所 31121 |
代理人 |
唐莉莎 |
主权项 |
一种生长氧化锌纳米线阵列的制备方法,其特征在于,它包括如下步骤:A.氧化锌种子层的制备:采用原子层沉积技术在基片上制备氧化锌种子层,具体方法如下:将原子层沉积系统内腔温度升到40~200℃,打开腔体,将基片放入腔内,腔体内压强降到25hPa以下,用惰性气体清洗反应腔;将锌前驱体通入反应腔,脉冲时间在0.05~1秒;之后通入惰性气体清洗未反应的前驱体,脉冲时间为5~60秒,然后通入氧前驱体,脉冲时间为0.05~1秒;之后用惰性气体清洗未反应的氧前驱体,完成一个沉积氧化锌的循环;如此重复,在基片表面沉积50~1000个循环的氧化锌层;马弗炉中300~800℃退火1~10小时;步骤A中所述的锌前驱体为二乙基锌;B. 氧化锌纳米线阵列的生长:采用化学溶液法生长氧化锌纳米线,具体方法如下:将氢氧化钠或氢氧化钾置入三口瓶中,取0.5~5毫升的三乙醇胺,或二乙醇胺置于三口瓶中,向三口瓶中加入30~50毫升的去离子水,按三乙醇胺,或二乙醇胺和锌前驱体摩尔比1:3~5:1称取锌前驱体,配成浓度为0.5M~3M的锌前驱体溶液;将装有氢氧化钠或氢氧化钾的三口瓶加热到60~90℃,10分钟后,将沉积氧化锌种子层的基片置入三口瓶中;滴入锌前驱体溶液, 10分钟后,将溶液温度降至室温;取出基片,用酒精和水冲洗,得到生长氧化锌纳米线阵列;步骤B中所述锌前驱体为二水合醋酸锌,或硝酸锌水合物,或硫酸锌水合物,或氯化锌水合物。 |
地址 |
200241 上海市闵行区江川东路28号 |