悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的频率检测装置及方法

摘要

本发明是一种基于悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的微波频率检测装置及方法，该装置包括悬臂梁电容式微机械微波功率传感器（22）、传输线移相器（15）、可调数字式移相器（12）、功率分配器（8）、功率合成器（19）和电容-数字转换器（25）：通过采用该微波功率传感器和可调数字式移相器判定传输线移相器对待测微波信号相位搬移大小的方法，实现精确检测微波信号频率的目的。

主权项

一种悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的频率检测装置，其特征在于该装置包括悬臂梁电容式微机械微波功率传感器(22)、传输线移相器(15)、可调数字 式移相器(12)、功率分配器(8)、功率合成器(19)和电容‑数字转换器(25)： 其中，待测信号V_x接功率分配器的输入端口(7)，功率分配器的输出端口一(9)接传输线移相器的输入端口(14)，传输线移相器的输出端口(16)接功率合成器的输入端口一(17)，功率分配器的输出端口二(10)接可调数字式移相器的输入端口(11)，可调数字式移相器的输出端口(13)接功率合成器的输入端口二(18)，功率合成器的输出端口(20)接悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的输入端口(21)，电容‑数字转换器的测试端口一(23)，电容‑数字转换器的测试端口二(24)分别接悬臂梁电容式微机械微波功率传感器(22)的下电极(5)和共面波导传输线的地平面(2)。