表面轮廓的测量装置

摘要

本发明公开一种表面轮廓的测量装置，所述表面轮廓的测量装置包括用于承载被测量工件或测量工件夹具的平台、安装于所述平台上的支撑组件、活动安装于所述支撑组件上的运动装置、安装于所述运动装置上的测量部件、安装于所述支撑组件上用于驱动所述运动装置运动的驱动装置、连接所述驱动装置与所述运动装置的连接装置、及设于所述驱动装置与所述运动装置之间的气流限制构件，所述气流限制构件用于阻止气流由所述驱动装置流动至所述运动装置、测量部件及被测量工件。本发明通过在运动装置与驱动装置之间设置气流限制构件，进而有效避免了在测量过程中，由于气流的影响而导致的测量误差，进而有效保证了测量的精度。

主权项

一种表面轮廓的测量装置，其特征在于，所述表面轮廓的测量装置包括用于承载被测量工件或测量工件夹具的平台、安装于所述平台上的支撑组件、活动安装于所述支撑组件上的运动装置、安装于所述运动装置上的测量部件、安装于所述支撑组件上用于驱动所述运动装置运动的驱动装置、连接所述驱动装置与所述运动装置的连接装置、及设于所述驱动装置与所述运动装置之间的气流限制构件，所述气流限制构件用于阻止气流由所述驱动装置流动至所述运动装置、测量部件及被测量工件。