一种制造具有不同焦距曲面复眼微透镜的方法

摘要

本发明提供了一种制造具有不同焦距的曲面复眼微透镜的方法。通过在多组彼此电学隔离的下电极组上施加电压使静电变形薄膜受到静电力的作用而变形，由于在所述多组彼此电学隔离的下电极组上施加电压的不同，进而所述静电变形薄膜的变形量也不同，从而使获得的聚合物微透镜阵列中的微透镜具有不同的焦距。在所述聚合物微透镜阵列上旋转涂抹硅橡胶，固化后剥离，并贴在一真空小孔的表面，由于真空的作用使此硅橡胶薄膜弯曲成一个曲面，形成具有不同焦距的曲面复眼透镜。和现有的曲面复眼透镜的制造方法相比，它具有如下优点：成本低，曲面的曲率，曲面上微透镜的焦距、面径和间距可控，采用静电变形薄膜的模具能够批量生产。

主权项

一种制造具有不同焦距的曲面复眼微透镜的方法，包括制作聚合物微透镜阵列、在所述聚合物微透镜阵列上旋转涂抹硅橡胶并使硅橡胶固化形成阴模、将所述阴模贴在一真空小孔的表面，通过真空的作用使所述阴模形成曲面；其特征在于，所述制作聚合物微透镜阵列的具体步骤为：采用微加工工艺在基板上制作多个单元组成的阵列,所述单元由至少一个下电极、腔体和覆盖在所述腔体上的静电变形薄膜组成；多个所述单元的下电极分成彼此电学隔断的多个下电极组，通过在所述多个下电极组上施加电压使所述静电变形薄膜受到静电力的作用而变形，通过改变在所述多个下电极组上施加电压的大小，就能改变所述静电变形薄膜的变形量；在所述多个下电极组上施加电压的同时将聚合物浇筑在所述多个单元组成的阵列上，聚合物凝固后，从所述多个单元组成的阵列上剥离成为聚合物微透镜阵列。