一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头

摘要

本发明涉及立式真空镀膜设备领域，具体涉及一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头。它包括底座，底座中部设有第一通孔，底座的底部设有与底座相连接的用于引导液体的引液组件，底座的顶部设有用于安装靶桶的下端盖，所述下端盖中部设有第二通孔，引液组件的头端穿过所述第一通孔和第二通孔，下端盖与底座之间设有套在所述引液组件上用于转动的转动组件，所述转动组件上还设有用于密封所述转动组件的密封组件。本发明通过双轴承配合同步轮的超薄端头结构,既满足使用要求，又节约腔体空间，在制造真空设备室能节约了材料使用，降低设备成本，同时压缩了真空室空间，等于加大了真空泵的抽速.并且由于厚度比较薄还可适用于旧的真空设备改造。

主权项

一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头，其特征在于：包括底座，所述底座中部设有第一通孔，所述底座的底部设有与底座相连接的用于引导液体的引液组件，所述底座的顶部设有用于安装靶桶的下端盖，所述下端盖中部设有第二通孔，所述引液组件的头端穿过所述第一通孔和第二通孔，所述下端盖与底座之间设有套在所述引液组件上用于转动的转动组件，所述转动组件上还设有采用轴封密封所述转动组件的密封组件。