位置控制方法、曝光方法及曝光装置、及元件制造方法

摘要

能管理位置测量用标记未存在的移动体的位置。将以可拆装方式搭载既定形状的板件(50)的移动体(WST)的位置，以供界定其移动座标系统的测量装置(18等)来测量，并以对准系统(ALG)检测板件(50)的一部分，根据其检测结果与对应的该测量装置的测量结果，来取得板件(50)外周边缘的位置资讯。据此，即使于该移动体(WST)上位置测量用的标记(基准标记)等未存在，仍可根据板件外周边缘的位置资讯，在以该测量装置所界定的移动座标系统上管理板件的位置，亦即移动体的位置。

主权项

一种位置控制方法，是控制载置曝光对象物体的第1载台及能与该第1载台分别独立移动的第2载台的至少一方的位置，其特征在于包含：取得该第1载台的外周边缘的位置资讯；以及以避免该外周边缘与该第2载台碰撞的方式，根据该外周边缘的位置资讯来控制该第1载台的位置与该第2载台的位置的至少一方。