一种用自动化注浆成型技术制备大规格ITO靶材的方法

摘要

一种用自动化注浆成型技术制备大规格ITO靶材的方法，本发明首先将ITO粉体通过在水溶剂中加入有机分散剂，同时调节pH值，再通过控制球磨工艺制备成高固含量、较低粘度的ITO浆料，然后采用微孔模具，以压缩空气作为压力介质，通过逐级加压的方法将较高固含量、流动性较好的ITO浆料压入微孔模具中，浆料中的大部分水分从模具微孔中排出，ITO粉末颗粒在模具型腔中不断堆积而成型出高密度、高强度的均匀大规格ITO坯体，成型后的坯体可立即脱模，脱模后的坯体经过干燥、脱脂和在氧气氛中烧结，可得到大规格、高密度的ITO靶材，本发明的特点是制备的坯体规格大、密度高、强度高、可近净尺寸成型等。

主权项

一种用自动化注浆成型技术制备大规格ITO靶材的方法，其特征是：所述方法具体包括如下步骤：一、制备ITO浆料：首先取ITO粉体或氧化铟和氧化锡的混合物，以去离子水为水溶剂，在水溶剂中加入占ITO粉体或氧化铟和氧化锡的混合物0.05～1%的有机分散剂，用氨水调节溶液pH值至9～11形成溶剂，所述溶剂在配制过程中始终用磁力转子或机械搅拌棒进行搅拌，以使水溶剂中的添加物混合均匀，然后将ITO粉体或氧化铟和氧化锡的混合物与配置的含分散剂的溶剂一同进行球磨，制备出高固含量、较低粘度的ITO浆料，球磨后的ITO浆料，再进行过筛、抽真空除泡，得到满足压力注浆成型要求的高浓度、流动性较好的ITO浆料；二、制备大规格ITO靶材坯体：接上步，采用自动化组合注浆设备，以压缩空气为加压介质，通过逐级加压的方法将第一步获取的ITO浆料压入微孔模具中而成型，其中最高压力为0.3～1.5MPa，最高压的保持时间为20～100min，坯体固化后可立即脱模，得到大规格、高密度的均匀ITO靶材坯体；三、制备大规格ITO靶材：接上步，成型后的ITO靶材坯体用称重法测量，密度为4.86～5.37g/cm³，坯体再经20～30℃干燥4～7天、100～150℃进一步干燥2～3天、650～900℃脱脂15～30h、1500～1650℃氧气氛烧结后，得到大规格、高密度、低电阻率的ITO靶材。