发明名称 |
热式流量计 |
摘要 |
本发明提供一种即使在为了在流量检测元件形成隔膜而设置有空隙的情况下,也能够抑制隔膜的变形和背面的污损所引起的计测精度的降低的热式流量计。本发明的热式流量计(300)具有:用于使从主通路(124)导入的被计测气体(30)流动的副通路;和通过与在副通路中流动的被计测气体(30)之间进行热传递来计测被计测气体(30)的流量的流量检测元件。热式流量计(300)至少具有包括流量检测元件(602)的电路封装(400)。为了在流量检测元件(602)的流量检测区域(437)形成隔膜(672),在流量检测元件(602)的背面形成有空隙(674),空隙(674)是减压至低于大气压的密闭空间。 |
申请公布号 |
CN104364617A |
申请公布日期 |
2015.02.18 |
申请号 |
CN201380031673.7 |
申请日期 |
2013.05.31 |
申请人 |
日立汽车系统株式会社 |
发明人 |
德安升;田代忍;半泽惠二;森野毅;土井良介;上之段晓 |
分类号 |
G01F1/684(2006.01)I;G01F1/00(2006.01)I;G01F1/692(2006.01)I |
主分类号 |
G01F1/684(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
龙淳 |
主权项 |
一种热式流量计,其具有:用于使从主通路导入的被计测气体流动的副通路;和通过与在该副通路流动的被计测气体之间进行热传递,计测所述被计测气体的流量的流量检测元件,该热式流量计的特征在于:该热式流量计至少具有包括所述流量检测元件的电路封装,以在所述流量检测元件的流量检测区域形成隔膜的方式,在所述流量检测元件的背面形成有空隙,该空隙是减压至低于大气压的密闭空间。 |
地址 |
日本茨城县 |