发明名称 | 压电器件 | ||
摘要 | 一种压电器件(100A~100D),具有第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上的压电膜(3)、以及设置在压电膜上的第二电极膜(8)。一对电极膜中的至少一者由合金构成,并且合金的主成分是选自Ti、Al、Mg和Zn中的金属。 | ||
申请公布号 | CN104364924A | 申请公布日期 | 2015.02.18 |
申请号 | CN201380029622.0 | 申请日期 | 2013.05.14 |
申请人 | TDK株式会社 | 发明人 | 佐久间仁志;仓知克行;会田康弘;前岛和彦;中岛真由美 |
分类号 | H01L41/047(2006.01)I;H01L41/08(2006.01)I | 主分类号 | H01L41/047(2006.01)I |
代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 杨琦 |
主权项 | 一种压电器件,其中,包括:第一电极膜;压电膜,其设置在所述第一电极膜上;以及第二电极膜,其设置在所述压电膜上,所述第一电极膜和第二电极膜中的至少一个由合金构成,并且所述合金的主成分是选自Ti、Al、Mg和Zn中的一种金属。 | ||
地址 | 日本东京都 |