一种离轴四反光学系统的装调方法

摘要

本发明涉及一种离轴四反光学系统的装调方法，该离轴四反光学系统包括依次设置的4个反射镜：主镜、次镜、三镜和四镜，该装调方法的步骤如下：1)、调整主镜，使主镜的光轴与入射光束的光轴平行；2)、显微镜接收入射光束依次经过主镜和次镜的反射光束，调节次镜的位置，使显微镜中的星点像的成像满足第二设定条件；3)、调整三镜的前后位置和四镜的位置，使经过四镜后的反射光束满足第三和第四设定条件。通过该装调方法能够保证离轴四反的同轴精度及像质最佳。

主权项

一种离轴四反光学系统的装调方法，所述离轴四反光学系统包括依次设置的4个反射镜：主镜、次镜、三镜和四镜；其特征在于，所述装调方法的步骤如下：1)、调整主镜，使主镜的光轴与入射光束的光轴平行；2)、显微镜接收经过次镜的反射光束，调节次镜的位置，使显微镜中的星点像的成像满足第二设定条件；3)、调整三镜的前后位置和四镜的位置，使经过四镜后的反射光束满足第三和第四设定条件。