碳纳米管的制造装置及制造方法

摘要

本发明提供一种通过使最适合CNT生长的形态的原料气体与催化剂接触，从而以高效率制造高纯度、高比表面积的CNT集合体的方法和装置。本发明的碳纳米管的制造装置具备合成炉、与合成炉连通的气体供给管及气体排气管、用于将合成炉内加热成规定温度的加热机构、将经由气体供给管供给的原料气体向合成炉内喷出的气体喷出机构，将经由气体供给管供给的原料气体向由加热机构加热的合成炉的加热区域内供给，从而从在基材上设置的催化剂层表面制造碳纳米管，并从气体排气管排出原料气体，所述碳纳米管的制造装置具备滞留时间调整机构，其使原料气体以大致均匀的量且大致相等的滞留时间与在基材上设置的催化剂层表面接触。

主权项

一种碳纳米管的制造装置，其特征在于，具备：合成炉；基材，其在所述合成炉内配设且载持催化剂层；原料气体供给管，其与所述合成炉连接，将原料气体向该合成炉内供给；原料气体喷出机构，其将原料气体从所述原料气体供给管朝向在相对于所述基材平面而面临的位置设置的所述基材上的所述催化剂层供给；加热机构，其对从所述原料气体喷出机构向所述合成炉内供给的所述原料气体进行加热而形成加热区域；滞留时间调整机构，其用于使从所述原料气体供给管向所述加热区域供给原料气体后到原料气体与所述基材的催化剂层接触为止的加热体积增加，来将滞留时间向延长的方向调整；以及气体排气管，其将所述原料气体向所述合成炉外排出，在此，所述滞留时间调整机构将所述催化剂层表面与和该催化剂层表面相面对设置的所述原料气体喷出机构的距离设定为40mm以上，从而将滞留时间调整成4秒至30秒之间的范围内。